三坐标测直径误差分析(三坐标能测多高精度)

三坐标测头的误差来源及误差分析

接触触发式测头的误差来源有两个：如下图所示，由于侧杆角位移必须达到一定值才能断开接触，所以测头接触工件到发出接触信号之间存在延迟；延迟的距离与接触力FC和测量杆的长度L成正比。由于测量杆刚度的影响，当测量头检测工件时，测量杆会发生弯曲变形。

非接触触发式测头的误差来源：光线的干涉和衍射。

常规的接触式探头采用红宝石材料，优点是接触变形小，侧向摩擦小，缺点是接触力引起的局部弹性变形和安装测量球的测量杆引起的弯曲变形很大，存在各向异性、开关行程、开关行程分散、复位死区等误差。目前市场上这种探头的重复精度只能达到微米和几十分之一微米，使得测量机的整体测量精度无法提高。

非接触测量的特点是测量力为零，但由于光的干涉和衍射，光学非接触测头的测头精度只有微米量级。目前的几种非接触式光学测头，如瞄准显微镜测头、光学点测头、电视扫描测头等，都是现有技术在CMM中的应用，结构复杂，应用范围非常窄。