直线运动平面：集成XY平台和堆叠平台的区别

　　在精密光学、半导体测试/制造、激光加工、平板显示器制造等行业中。通常需要多自由度的精密运动。当需要处理大的表面时，所涉及的定位平台的平面度规格(垂直偏差)特别重要，例如，为了减少离焦误差。

　　什么是平面XY平台？

　　堆叠式、集成式和平面式平台设计之间的差异经常被用户误解。根据定义，平面XY载物台或XY工作台使用X轴和Y轴移动的公共参考平面。真正的平面运动不适用于交叉滚子轴承——它们用于堆叠集成设计。

　　堆叠、集成和平面XY载物台

　　XY运动可以通过叠加两个行程或类型相近的直线平台来实现(根据应用要求也可以不同)。这种模块化设计提供了灵活性。缺点-对于长行程-行程结束时平面度误差和俯仰/滚动误差增加，这是由于缺乏对上轴底部的支撑造成的。

　　龙门XY平台(直角坐标机器人平台)

　　龙门XY平台是堆叠平台设计的另一种形式。当需要覆盖重载的长XY移动距离，或者从上方扫描或加工固定工件时，通常使用龙门XY运动系统。需要具有特殊台架控制算法的运动控制器来获得性能并避免束缚。龙门XY运动系统有很多种，通常建立在花岗岩基座上，以提供超高的稳定性和精度，通常用于激光加工、成像和计量应用。

　　集成XY平台(通常误称为平面XY平台)可以制造成具有低轮廓，因为中心板既用作下轴的移动顶板又用作上轴的移动底板。一体式XY平台通常具有正方形的占地面积，更宽的支座底座减少了上述由悬臂效应引起的几何误差。就像堆叠的线性平台一样，它们确实停留在它们的中间位置范围内。

　　同类型轴承(交叉滚子轴承、循环滚珠轴承等。)和驱动机构(丝杠、滚珠丝杠、直线电机)可用于堆叠式直线平台。

　　如果XY工作台占用区域之外的移动是不可接受的和/或需要的几何性能，可以使用平面XY工作台。平面XY平台通常基于空气轴承、磁悬浮或(在短行程范围内非常流行的)柔性导轨。XY工作台提供的几何性能，要求高精度的应用，例如半导体晶片检测中的常见应用。

     特别声明：文章仅代表作者个人观点，不代表丽泰的观点和立场。如果侵犯到您的权益，版权或其他问题请及时联系我们，我们会时间处理。