激光干涉仪原理及应用概述(激光干涉仪有哪些类型)

干涉仪有很多种。这里有五种干涉仪。

第一个是牛顿干涉仪牛顿干涉仪。

左边的准单色点光源是近单波长点光源，意思是单波长，点光源是点光源。点光源通过透镜变成平行光后，打在下方的椭圆形待测物体上，待测物体可能是透镜等物体。被测物体下方的平面光学平板为参考面。通常情况下，基准面的平面度，即表面平整度，必须大于1/10。分母越大，平整度越好。

顺序

t；Mso-fareast-font-family:MSO-远东-语言：ZH-CN；两个是迈克尔逊干涉仪。

迈克尔逊干涉仪和牛顿干涉仪对比，会发现它不是点光源，光源有些散射。光经过一个透镜后，再经过中间的分束镜O，这样一部分光被反射到反射镜M2，然后回到分束镜O，而一部分光经过补偿板C，到达反射镜M1后，反射回分束镜O合成同样的光，结果打在D(探测器)上。所以我们可以在探测器上看到一圈条纹，也就是干涉图a，所以通常用迈克尔逊干涉仪来测量距离的变化。当我们要测量距离时，只需要先测量原始干涉条纹A，然后把反射镜

语言：ZH-CN；M2后退并测量干涉条纹B，然后根据条纹AB的变化计算距离.

第三种是自由灵魂干涉仪斐索干涉仪。

自由灵魂干涉仪是目前比较常见的干涉仪，也是一种结构和测量。左上方的激光光源是非常好的单波长光源。中间经过几道程序，当通过参考平面参考面时，一部分光被反射，一部分光通过被测平面下fest面再反射回来。所以我们看到的结果就是参考面和被测面的差异。当参考表面不同时，

span style=’font-size: 10.0pt。font-family:；MSO-ascii-font-family:“Arial Unicode MS”；MSO-汉斯-font-family:’ Arial Unicode MS ‘；MSO-远东-语言：ZH-中国；’待测表面的测量条纹也会不同。这种干涉仪的缺点是易受风向、振动、换气等外力影响，必须放在密闭室内的防震台上才能看清干涉条纹，所以又叫非共路干涉仪。

第四种是马赫-曾德尔干涉仪。

下光源，扩展光源，是类似迈克尔逊干涉仪的扩展光源。光源经过一个分束镜后分为两路，每路经过一个反射镜，再经过第二个分束镜合成一束光，结果送到探测器。因为中间分为两个光源，

l Unicode MS ‘；MSO-远东-语言：ZH-中国；’它可以在空间和距离上有很大的调整，因此更适合测量大体积或有穿透力的物体。比如我们可以测量大面积玻璃。通过将待测物体放置在路径上的分光镜和反射镜之间，我们可以看到路径A和路径B与待测物体之间的差异。这也是非共路干涉仪，缺点是容易受换气等外力影响，优点是：是的。